FTA-C3000/4000系列輪廓測定機

FTA-C3000/4000系列輪廓測定機

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FTA-**C3000/4000系列  輪廓測定機
型號 S4C3000 H4C3000 W4C3000 L4C3000 S8C3000 H8C3000 W8C3000 L8C3000
S4C4000 H4C4000 W4C4000 L4C4000 S8C4000 H8C4000 W8C4000 L8C4000
Z1軸(檢測部) 量測範圍 60 mm (從水平狀態 ± 30 mm)
光學尺 圓弧尺規
解析度 C3000 : 0.04 μm     C4000 : 0.02 μm

真直精度(X軸水平橫向時)

0.8 μm / 100 mm

2 μm / 200 mm
指示精度(20℃) C3000/C4000-X軸

± ( 0.8 + 0.01L ) μm   L : 驅動長度 (mm)

大範圍 : 1.8 μm / 100mm

小範圍 : 1.05 μm / 25mm

± ( 0.8 + 0.015L ) μm   L : 驅動長度 (mm)

大範圍 : 3.8 μm / 200 mm

小範圍 : 1.2 μm / 25 mm
C3000-Z1軸(檢測部)

± (1.2 + ∫2H∫ /100) μm   H : 從水平位置的量測高度 (mm)
C4000-Z1軸(檢測部)

± (0.8 + ∫2H∫ /100) μm   H : 從水平位置的量測高度 (mm)
測針上下作動 圓弧運動
量測方向 拉推兩方向
量測面方向 上下兩方向
測定力 C3000 30mN
C4000 10、20、30、40、50mN (軟體切換)
追蹤角度(標準測針時) C3000 單角測針SPH-71 : 上升77°   下降83° (依據表面狀態)
C4000

單角測針SPH-71 : 上升77°   下降83° (依據表面狀態)

兩側圓錐測針SPHW-56 : 上升74°   下降72° (依據表面狀態)
行程限制功能 指定範圍 : -29mm ~ +29mm   定位精度範圍 : ±1mm
X軸(驅動部)量測範圍 100mm 200mm
光學尺 X軸 高精度線性編碼器
Z2軸(立柱) ABS線性編碼器
解析度 X軸 0.05μm
Z2軸(立柱) 1μm
X軸傾斜角度 ±45°
Z2軸(立柱)移動範圍 300mm 500mm 500mm 700mm 300mm 500mm 500mm 700mm
驅動速度 X軸 軟體 : 0~80 mm/s   遙控測試盒操作 : 0~40 mm/s
Z2軸(立柱) 軟體 : 0~30 mm/s   遙控測試盒操作 : 0~30 mm/s
量測速度 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、5、10、20、30 mm/s (建議以5mm/s以下的速度量測)
檢出器更換 使用熱抽換功能無需關閉控制器電源 (輪廓檢出器需要初始化)，搭配免工具拆裝機構 (旋鈕式夾緊桿)
基座尺寸 (mm) 600*450 600*450 1000*450 1000*450 600*450 600*450 1000*450 1000*450
基座材質 輝長岩
本體外觀尺寸(mm) W 759 759 1159 1159 769 769 1169 1169
D 482 482 482 492 482 482 482 492
H 966 1166 1176 1430 966 1166 1176 1430
本體重量(kg) 140 150 220 270 140 150 220 270
電源規格 100~120 V、200~240 V ± 10 %、AC 50 / 60 Hz
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