| FTA-**C3000/4000系列 輪廓測定機 | |||||||||
| 型號 | S4C3000 | H4C3000 | W4C3000 | L4C3000 | S8C3000 | H8C3000 | W8C3000 | L8C3000 | |
| S4C4000 | H4C4000 | W4C4000 | L4C4000 | S8C4000 | H8C4000 | W8C4000 | L8C4000 | ||
| Z1軸(檢測部) | 量測範圍 | 60 mm (從水平狀態 ± 30 mm) | |||||||
| 光學尺 | 圓弧尺規 | ||||||||
| 解析度 | C3000 : 0.04 μm C4000 : 0.02 μm | ||||||||
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真直精度(X軸水平橫向時) |
0.8 μm / 100 mm |
2 μm / 200 mm |
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| 指示精度(20℃) | C3000/C4000-X軸 |
± ( 0.8 + 0.01L ) μm L : 驅動長度 (mm) 大範圍 : 1.8 μm / 100mm 小範圍 : 1.05 μm / 25mm |
± ( 0.8 + 0.015L ) μm L : 驅動長度 (mm) 大範圍 : 3.8 μm / 200 mm 小範圍 : 1.2 μm / 25 mm |
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| C3000-Z1軸(檢測部) |
± (1.2 + ∫2H∫ /100) μm H : 從水平位置的量測高度 (mm) |
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| C4000-Z1軸(檢測部) |
± (0.8 + ∫2H∫ /100) μm H : 從水平位置的量測高度 (mm) |
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| 測針上下作動 | 圓弧運動 | ||||||||
| 量測方向 | 拉推兩方向 | ||||||||
| 量測面方向 | 上下兩方向 | ||||||||
| 測定力 | C3000 | 30mN | |||||||
| C4000 | 10、20、30、40、50mN (軟體切換) | ||||||||
| 追蹤角度(標準測針時) | C3000 | 單角測針SPH-71 : 上升77° 下降83° (依據表面狀態) | |||||||
| C4000 |
單角測針SPH-71 : 上升77° 下降83° (依據表面狀態) 兩側圓錐測針SPHW-56 : 上升74° 下降72° (依據表面狀態) |
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| 行程限制功能 | 指定範圍 : -29mm ~ +29mm 定位精度範圍 : ±1mm | ||||||||
| X軸(驅動部)量測範圍 | 100mm | 200mm | |||||||
| 光學尺 | X軸 | 高精度線性編碼器 | |||||||
| Z2軸(立柱) | ABS線性編碼器 | ||||||||
| 解析度 | X軸 | 0.05μm | |||||||
| Z2軸(立柱) | 1μm | ||||||||
| X軸傾斜角度 | ±45° | ||||||||
| Z2軸(立柱)移動範圍 | 300mm | 500mm | 500mm | 700mm | 300mm | 500mm | 500mm | 700mm | |
| 驅動速度 | X軸 | 軟體 : 0~80 mm/s 遙控測試盒操作 : 0~40 mm/s | |||||||
| Z2軸(立柱) | 軟體 : 0~30 mm/s 遙控測試盒操作 : 0~30 mm/s | ||||||||
| 量測速度 | 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、5、10、20、30 mm/s (建議以5mm/s以下的速度量測) | ||||||||
| 檢出器更換 | 使用熱抽換功能無需關閉控制器電源 (輪廓檢出器需要初始化)，搭配免工具拆裝機構 (旋鈕式夾緊桿) | ||||||||
| 基座尺寸 (mm) | 600*450 | 600*450 | 1000*450 | 1000*450 | 600*450 | 600*450 | 1000*450 | 1000*450 | |
| 基座材質 | 輝長岩 | ||||||||
| 本體外觀尺寸(mm) | W | 759 | 759 | 1159 | 1159 | 769 | 769 | 1169 | 1169 |
| D | 482 | 482 | 482 | 492 | 482 | 482 | 482 | 492 | |
| H | 966 | 1166 | 1176 | 1430 | 966 | 1166 | 1176 | 1430 | |
| 本體重量(kg) | 140 | 150 | 220 | 270 | 140 | 150 | 220 | 270 | |
| 電源規格 | 100~120 V、200~240 V ± 10 %、AC 50 / 60 Hz | ||||||||