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CV-2100輪廓測定儀

CV-2100輪廓測定儀強化X軸快速移動與測針向上向下功能,使多點量測時更省時。Z1軸檢出器裝配高精度圓弧尺,能提供量測所需之高精度與高解析。其操作軟體能支援量測操控,提供輪廓分析、輪廓公差與建立檢查報告。

 

CV-2100輪廓儀規格表

量測範圍 X軸 100mm
Z1軸(檢出裝置) 50mm
Z2軸(立柱)移動範圍 350mm
X軸傾斜角度 ±45°
解析度 X軸 0.1µm
Z1軸 0.1µm
驅動方式 X軸 馬達驅動 (0 - 20mm/s)
Z1軸(立柱) 手動(快速上下移動,微動)
量測速度 0.02 - 5mm/s
線性精度(X軸水平方向) 2.5µm/100mm
精度 (20°C) X軸 ±(2.5+0.02L) µm  L = 量測長度(mm)
Z1軸
±(2.5+|0.1H|) µm  H = 從水平位置測定的高度
在±25mm以內
測定面方向 拉、壓兩種方向
測定面方向 向下
測定力 30±10mN (3gf)
測針追蹤角度(標配測針) 上升77°、下降87°(依其表面性質而定)
外觀尺寸 (W×D×H) 745×450×885mm
重量 145.8 kg